Nauka1 godz. temuChiny · Azja

Innowacyjna metoda trawienia krzemu: Większa precyzja dzięki międzywarstwom

Phys.org1 min czytania

Zdjęcie ilustracyjne · fot. Amanda Slater / CC BY-SA 2.0, Wikimedia Commons

W 10 sekund

  • W mikro- i nanotechnologii ważne są bardzo precyzyjne komponenty o wysokich, wąskich strukturach (wysokie współczynniki kształtu) wykonane z materiałów półprzewodnikowych, takich jak krzem.
  • Obiecującą metodą wytwarzania jest trawienie chemiczne wspomagane metalem w fazie gazowej (MacEtch).

W mikro- i nanotechnologii ważne są bardzo precyzyjne komponenty o wysokich, wąskich strukturach (wysokie współczynniki kształtu) wykonane z materiałów półprzewodnikowych, takich jak krzem. Obiecującą metodą wytwarzania jest trawienie chemiczne wspomagane metalem w fazie gazowej (MacEtch). W tym pozbawionym plazmy…

To skrót depeszy. Pełny artykuł — całą treść i zdjęcia — publikuje redakcja źródłowa. Szanujemy jej prawa, dlatego odsyłamy do oryginału.

Czytaj pełny artykuł: Phys.org

Zrozum temat · Wyjaśniamy

Ponadczasowe przewodniki naszej redakcji powiązane z tą depeszą.

Więcej z tematu →Źródło: Phys.org · tłum. automatyczne · czytaj u źródła

Czytaj dalej